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【財訊快報記者巫彩蓮報導】市場傳出台積電( 2330 )南科的Fab14 B廠出現晶圓品質瑕疵,主要製程以12、16奈米為主的製程,影響到晶圓數量上萬片,造成瑕疵的主因在採用不合規的化學品,台廠化學品供應廠榮化(1704)、勝一( 1773 )均低調表示:「未聽聞此事」;但是化學品供應鏈消息指出,此次晶圓瑕疵為外商供應光阻液所造成,與台廠化學品供應商無關。

  此次台積電產出瑕疵晶圓為南科Fab14 B廠,台積電發言管道亦證實有此事,受影響的晶圓數逾萬片,將與客戶協商,透過趕工補救,並不會影響首季營運數字,據了解在該廠主要客戶Nvidia、華為海思、聯發科( 2454 )等。

  台積電在製程用化學品為Air Liquide、Avantor、BASF、Entegris、Fujifilm Electronic Materials、Kanto PPC、Kuang Ming、Merck、RASA、Tokuyama、Versum、Wah Lee等12家;黃光製程為3M、Asahi Kasei、Dow Chemical、Fujifilm Electronic Materials、JSR、Merck、Nissan、Shin-Etsu Chemical、Sumitomo、T.O.K.等10家;研磨液、研磨墊、鑽石碟3M、Cabot Microelectronics、Dow Chemical、Fujibo、Fujifilm Electronic Materials、Fujimi、JSR、Kinik、Versum等9家。


  台積電化學品供應鏈以外商為主,台廠則是榮化、勝一兩家為主,兩家公司聽聞消息都相當低調表示,未聽聞此事!不過相關供應鏈消息指出,主要是外商所供應光阻液出包所致,主要供應商Shin-Etsu Chemical(信越)、JSR 、陶氐(Dow Chemical)等,至於何者仍無法確定。





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